隨著集成電路工藝制程技術(shù)的不斷發(fā)展，為了提高集成電路的集成度，同時(shí)提升器件的工作速度和降低它的功耗，半導(dǎo)體工藝的特征尺寸不斷縮小，晶體管的柵、源和漏有源區(qū)的尺寸也會(huì)相應(yīng)縮小，而它們的等效串聯(lián)電阻會(huì)相應(yīng)變大，從而影響電路的速度。為了改善等效串聯(lián)電阻，半導(dǎo)體業(yè)界先后發(fā)展出金屬硅化物工藝技術(shù)Polycide和Salicide。
最先出現(xiàn)的金屬硅化物工藝技術(shù)是Polycide工藝技術(shù)，Polycide工藝技術(shù)是為了改善多晶硅柵的等效串聯(lián)電阻和接觸孔的接觸電阻，Polycide工藝技術(shù)僅僅在多晶硅柵上形成金屬硅化物，源和漏有源區(qū)不會(huì)形成金屬硅化物，所以它沒(méi)有辦法改善晶體管源和漏有源區(qū)的等效串聯(lián)電阻和接觸孔的接觸電阻。為了改善晶體管源和漏有源區(qū)的等效串聯(lián)電阻和接觸孔的接觸電阻而發(fā)展出Salicide工藝技術(shù)，Salicide工藝技術(shù)不僅在多晶硅柵上形成金屬硅化物，而且在源和漏有源區(qū)也會(huì)形成金屬硅化物，它同時(shí)改善晶體管的柵、源和漏有源區(qū)的等效串聯(lián)電阻和接觸孔的接觸電阻。
本文摘選自《集成電路制造工藝與工程應(yīng)用》第三章第五節(jié)的內(nèi)容，這部分內(nèi)容簡(jiǎn)單介紹了Polycide工藝技術(shù)、Salicide工藝技術(shù)和SAB工藝技術(shù)的原理，并以納米級(jí)工藝形成ESD器件和Non-Salicide器件為例介紹SAB和Salicide工藝技術(shù)的工程應(yīng)用。
1.1金屬硅化物工藝技術(shù)
首先引起半導(dǎo)體業(yè)界重視的多晶硅柵的等效串聯(lián)電阻，多晶硅柵的電阻率比較高，雖然柵等效串聯(lián)電阻不會(huì)損害電路的直流特性，但是它會(huì)影響器件的高頻特性。在CMOS工藝制程中，多晶硅柵的厚度是2.5k?~3k?，對(duì)于厚度為3k?的多晶硅柵，它的方塊電阻高達(dá)36ohm/sq。對(duì)于一個(gè)寬度W=10um和溝道長(zhǎng)度L=0.35um的器件，柵極的串聯(lián)電阻是1028.6ohm/sq，器件柵極等效串聯(lián)電阻會(huì)造成非常大的RC延時(shí)。為了降低多晶硅柵和有源區(qū)的方塊電阻，金屬硅化物（Silicide）工藝技術(shù)被開發(fā)出來(lái)并廣范應(yīng)用在半導(dǎo)體工藝制程 。Silicide是由金屬和硅經(jīng)過(guò)化學(xué)反應(yīng)形成的一種金屬化合物，其導(dǎo)電特性介于金屬和硅之間。最先應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝制程的Silicide材料是多晶硅金屬硅化物(Polycide)，Polycide是指僅僅在多晶硅柵上形成金屬硅化物，源和漏有源區(qū)不會(huì)形成金屬硅化物。業(yè)界利用多晶硅和Polycide的雙層結(jié)構(gòu)代替多晶硅柵，從而降低多晶硅的方塊電阻。Polycide的材料是硅化鎢（WSi2），對(duì)于厚度1K?的多晶硅和1.5K?的Polycide的雙層結(jié)構(gòu)的方塊電阻大約是3ohm/sq。
當(dāng)半導(dǎo)體工藝的特征尺寸縮小到深亞微米以下時(shí)，晶體管源和漏有源區(qū)的尺寸寬度不斷縮小導(dǎo)致器件的有源區(qū)串聯(lián)電阻不斷增大，另外后端互連接觸孔的尺寸也不斷縮小，隨著接觸孔尺寸的不斷縮小，單個(gè)接觸孔的接觸電阻也不斷升高，對(duì)于0.25μm工藝技術(shù)平臺(tái)的接觸孔，它的尺寸達(dá)到0.32μm以下，單個(gè)接觸孔的接觸電阻已經(jīng)升高到200ohm以上了。為了降低有源區(qū)的串聯(lián)電阻和接觸電阻，也需要在有源區(qū)上形成金屬硅化物，該技術(shù)是利用金屬（Ti、Co和NiPt等）與直接接觸的有源區(qū)和多晶硅柵的硅反應(yīng)形成Silicide，金屬不會(huì)與接觸的SiO2、Si3N4和SiON等介質(zhì)材料發(fā)生反應(yīng)，所以Silicide能夠很好地與有源區(qū)和多晶硅柵對(duì)準(zhǔn)，把同時(shí)在有源區(qū)和多晶硅柵上形成Silicide的技術(shù)稱為自對(duì)準(zhǔn)金屬硅化物（Self Aligned Silicide - Salicide）。
1.2 Polycide工藝技術(shù)
Polycide工藝技術(shù)是指在器件的柵極上形成金屬硅化物薄膜，柵極由一定厚度的多晶硅薄膜和金屬硅化物薄膜組成。Polycide工藝技術(shù)僅僅會(huì)在多晶硅柵上形成金屬硅化物減小柵極的電阻，而不會(huì)改變有源區(qū)的電阻。
Polycide工藝技術(shù)主要應(yīng)用在特征尺寸在亞微米的集成電路制造工藝。Polycide工藝技術(shù)的工藝實(shí)現(xiàn)過(guò)程是首先通過(guò)LPCVD淀積多晶硅薄膜，然后再通過(guò)LPCVD在多晶硅上淀積金屬硅化物WSi2薄膜。WSi2反應(yīng)的氣體源是SiH2Cl2和WF2，反應(yīng)的溫度是550℃，它的化學(xué)反應(yīng)式是：7SiH2Cl2 2WF6 2WSi2 3SiF4 14HCl。WSi2的熱穩(wěn)定性非常好，它的阻值并不會(huì)隨著工藝溫度而改變。
硅和金屬硅化物存在相互擴(kuò)散的問(wèn)題，對(duì)于Polycide工藝技術(shù)，淀積的是WSi2金屬，多晶硅和WSi2的相互擴(kuò)散可以促使多晶硅和WSi2更好的結(jié)合，并不會(huì)影響器件性能和柵極的電性。另外，Polycide只淀積在Poly層上，多晶硅柵的摻雜類型不會(huì)影響Polycide的阻值，所以設(shè)計(jì)上不會(huì)區(qū)分n型或者p型多晶硅電阻。
為了更好的理解Polycide工藝技術(shù)，請(qǐng)參考第四章第一節(jié)亞微米工藝中Polycide的工藝步驟。如圖3-103所示，是亞微米及以上工藝制程技術(shù)形成Polycide的剖面圖。
圖3-103 亞微米及以上工藝制程技術(shù)形成Polycide的剖面圖
1.3 Salicide工藝技術(shù)
Salicide工藝技術(shù)是在標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝技術(shù)的基礎(chǔ)上增加硅金屬化的相關(guān)工藝步驟，Salicide工藝步驟是完成源和漏離子注入后進(jìn)行的。形成Salicide的基本工藝步驟是首先利用物理氣相淀積（Physical Vapor Deposition - PVD）在多晶硅柵和有源區(qū)上淀積一層金屬（Ti，Co和NiPt等）。然后進(jìn)行兩次快速熱退火處理（RTA）以及一次選擇性濕法刻蝕處理，最終在多晶硅表面和有源區(qū)表面形成Salicide，金屬硅化物包括TiSi2，CoSi2和NiPtSi等薄膜。金屬Ti，Co或NiPt不會(huì)跟介質(zhì)材料反應(yīng)形成金屬硅化物，只會(huì)與直接接觸的多晶硅和有源區(qū)反應(yīng)形成金屬硅化物。與Polycide不同的是Salicide工藝技術(shù)會(huì)在多晶硅和有源區(qū)同時(shí)形成Salicide，降低它們的方塊電阻和接觸電阻，在設(shè)計(jì)上可以得到更小串聯(lián)電阻，減小RC延時(shí)，提高電路的速度。
為什么需要兩次RTA呢？以Ti-Salicide工藝為例，首先淀積一層Ti薄膜，然后再淀積一層TiN薄膜覆蓋在Ti薄膜上，淀積TiN薄膜的目的是防止Ti在快速熱退火處理時(shí)流動(dòng)。第一次RTA-1的溫度比較低，只有450~650℃，Ti只會(huì)與有源區(qū)或者多晶硅的硅反應(yīng)形成高阻態(tài)的金屬硅化物Ti2Si，它是體心斜方晶系結(jié)構(gòu)，它是C49相，Ti不會(huì)和氧化硅反應(yīng)生成金屬硅化物，所以可以利用選擇性濕法刻蝕去除表面的TiN薄膜和氧化硅上沒(méi)有反應(yīng)的Ti薄膜。第二次RTA-2溫度很高，最低也要750℃，有的工藝平臺(tái)要求高達(dá)950℃，RTA-2可以將C49相的高阻態(tài)金屬硅化物Ti2Si轉(zhuǎn)化為低阻的C54相金屬硅化物TiSi2，C54相是面心斜方晶系結(jié)構(gòu)，它的熱力學(xué)特性很好，非常穩(wěn)定。如果只通過(guò)一次RTA生成低阻的金屬硅化物TiSi2，那么這個(gè)步驟的RTA的工藝溫度會(huì)很高，在如此高溫的環(huán)境下，硅可以沿著TiSi2的晶粒邊界進(jìn)行擴(kuò)散，導(dǎo)致氧化硅邊界上面的TiSi2過(guò)度生長(zhǎng)，濕法刻蝕無(wú)法去除氧化物上的金屬硅化物，而造成短路。如圖3-104所示，是經(jīng)過(guò)兩次不同溫度的RTA工藝步驟，只在源、漏和柵上形成Salicide。如圖3-105所示，是只經(jīng)過(guò)一次高溫的RTA，在STI和側(cè)墻上也形成Salicide，造成短路。
圖3-104在源、漏和柵上形成Salicide
圖3-105在STI和側(cè)墻上形成Salicide
如圖3-106所示，是Salicide工藝技術(shù)中兩次RTA工藝的溫度相位圖。第一次RTA-1使金屬與硅反應(yīng)形成相位C49的高阻態(tài)金屬硅化物Ti2Si、Co2Si或者Ni2PtSi，它的反應(yīng)溫度小于T1，T1（Ti）> T1（Co）> T1（NiPt）。然后用濕法刻蝕（刻蝕的酸是NH4OH和H2O2）去除氧化物上未反應(yīng)的金屬，防止橋連短路。第二次RTA-2需要更高的溫度T2，把相位C49轉(zhuǎn)化為C54的低阻金屬硅化物生成TiSi2/CoSi2/ NiPtSi2，T2（Ti）> T2（Co）> T2（NiPt）。
圖3-106 Salicide工藝技術(shù)中兩次RTA工藝的溫度相位圖
Ti-Salicide有一個(gè)致命的缺點(diǎn)，隨著Salicide厚度的降低或者線寬的減小，Ti-Salicide由C49相位轉(zhuǎn)化為C54相位的臨界溫度T1會(huì)升高，而C54相位發(fā)生團(tuán)塊化的臨界溫度T2反而會(huì)降低，以致于會(huì)出現(xiàn)T1=T2的臨界點(diǎn)，甚至?xí)霈F(xiàn)T2小于T1的情況，如圖3-107所示，是T1和T2隨silicide厚度或線寬變化圖。如果出現(xiàn)T2小于T1的情況，Ti-Salicide 出現(xiàn)C49相位后就會(huì)直接發(fā)生團(tuán)塊化，根本就不存在C54相位這個(gè)區(qū)間，也就是根本找不到降低金屬硅化物電阻的工藝條件，所以只有大尺寸的工藝才會(huì)采用Ti-Salicide工藝技術(shù)，例如特征尺寸為0.5μm~0.25μm的工藝技術(shù)。而Co-Salicide可以有效避免這種直接發(fā)生團(tuán)塊化現(xiàn)象，所以特征尺寸為0.18μm~65nm的工藝技術(shù)都采用Co-Salicide工藝技術(shù)。另外由于特征尺寸為65nm以下的工藝技術(shù)需要特別考慮熱量的問(wèn)題，所以選擇NiPt-Salicide工藝技術(shù)，因?yàn)镹iPt-Salicide工藝技術(shù)的RTA工藝溫度比Co-Salicide工藝低。
圖3-107 T1和T2隨Silicide厚度或線寬變化圖
另外硅和金屬還存在互擴(kuò)散的問(wèn)題，對(duì)于Ti-Salicide工藝技術(shù)，淀積的金屬是Ti，在形成硅化物的過(guò)程中，硅是主要擴(kuò)散物，在邊緣處可以參與反應(yīng)的硅相對(duì)來(lái)說(shuō)會(huì)少一點(diǎn)，所以邊緣形成的金屬硅化物的厚度就會(huì)相應(yīng)變薄，那么邊緣的薄層電阻就會(huì)相應(yīng)變大，表現(xiàn)出來(lái)的特性就是金屬硅化物的邊緣的電阻較大。對(duì)于線寬為0.18μm以下的工藝技術(shù)，這種特性會(huì)非常嚴(yán)重。除了邊界處金屬硅化物電阻增大的問(wèn)題，另外硅會(huì)擴(kuò)散到金屬上，引起的橋接問(wèn)題。由于硅擴(kuò)散到金屬中的速度大于金屬擴(kuò)散到硅中的速度，所以金屬硅化物不僅會(huì)在金屬與硅的直接接觸面形成，還會(huì)在氧化物上形成造成橋接，例如STI和側(cè)墻上。雖然STI和側(cè)墻上Ti金屬并不與硅直接接觸。當(dāng)初始的硅金屬化反應(yīng)發(fā)生在純N2氣氛中進(jìn)行時(shí)，可以阻止硅化物在橫向上的生長(zhǎng)。另外金屬Co和NiPt可以有效的避免上述效應(yīng)，這是0.18μm ~ 65nm工藝技術(shù)選擇用Co代替Ti的原因。
Co-Salicide對(duì)線寬控制比Ti-Salicide好，RTA1的溫度是300~370℃，形成C49相位的金屬硅化物Co2Si，當(dāng)溫度大約為500℃時(shí)Co2Si轉(zhuǎn)化為CoSi，然后在700℃或者更高的溫度下形成C54相位的金屬硅化物CoSi2。在低溫時(shí)Co是主要擴(kuò)散物，Co進(jìn)入界面與硅反應(yīng)，這樣Co2Si橫向擴(kuò)散比Si2Ti的小，但是在高溫時(shí)CoSi轉(zhuǎn)化為CoSi2，硅是主要擴(kuò)散物。
摻雜類型會(huì)對(duì)Salicide的阻值產(chǎn)生影響，n型區(qū)和p型區(qū)的方塊電阻是不同。對(duì)于n型區(qū)，會(huì)形成較薄的金屬硅化物，所以n型區(qū)的方塊電阻較大，而p型區(qū)的情況相反，所以設(shè)計(jì)上要區(qū)分n型或者p型電阻。
另外雜質(zhì)在Salicide中的擴(kuò)散速度非?？?，所以在多晶硅中的摻雜物容易進(jìn)入金屬硅化物層，而流串至其他地方。多晶硅會(huì)因?yàn)閾诫s物的流失而產(chǎn)生嚴(yán)重的空乏效應(yīng)。對(duì)于CMOS工藝，則會(huì)有p型和n型摻雜物的相互污染，導(dǎo)致MOS晶體管的閾值電壓發(fā)生改變。
對(duì)于65nm以下的Ni-Salicide，首先在低溫下形成Ni2Si，隨著溫度升高再形成NiSi。由于NiSi具有熱不穩(wěn)定性，當(dāng)溫度高于400℃時(shí)最終形成穩(wěn)定的化合物NiSi2，在這個(gè)過(guò)程中Ni是主要擴(kuò)散物，導(dǎo)致NiSi2深入襯底形成短路，會(huì)形成漏電問(wèn)題，這種現(xiàn)象稱為NiSi侵蝕襯底。為了改善該問(wèn)題，在Ni靶材中加入5~10%的Pt，也就是利用NiPt的合金靶材代替純Ni靶材，最終形成NiPt-Salicide。
1.4 SAB工藝技術(shù)
Salicde工藝技術(shù)是利用金屬與多晶硅和有源區(qū)硅反應(yīng)，同時(shí)在多晶硅柵和有源區(qū)形成金屬硅化物，它是自對(duì)準(zhǔn)的工藝。雖然金屬硅化物可以降低電路的串聯(lián)電阻，但是金屬硅化物對(duì)于ESD器件和較高阻抗的電阻是有害的，為了得到相同的電阻阻值，金屬硅化物電阻比非金屬硅化物電阻需要更多的面積，形成金屬硅化物的ESD器件會(huì)導(dǎo)致ESD電流在器件表面流動(dòng)，燒毀ESD器件。如圖3-108所示，是ESD電流沿低阻的金屬硅化物表面流動(dòng)，造成發(fā)熱燒毀器件。如圖3-109所示，是在沒(méi)有金屬硅化物的區(qū)域，當(dāng)ESD電流沿有源區(qū)某個(gè)方向流動(dòng)，造成該方向硅發(fā)熱和電阻升高，ESD電流會(huì)更傾向于流向電阻低的區(qū)域，所以ESD電流會(huì)沿有源區(qū)各個(gè)方向均勻地流動(dòng)，從而達(dá)到保護(hù)器件的目的。
圖3-108 ESD電流沿金屬硅化物表面流動(dòng)
圖3-109 ESD電流沿有源區(qū)各個(gè)方向流動(dòng)
為了得到高阻抗的有源區(qū)電阻、高阻抗的多晶硅電阻和高性能的ESD器件，需要形成較高阻抗的非金屬硅化物區(qū)域，通常把這些較高阻抗的區(qū)域稱為Non-Salicide區(qū)域，把這些沒(méi)有形成金屬硅化物的器件稱為Non-Salicide器件。為了形成Non-Salicide器件，需要利用金屬只會(huì)與多晶硅和有源區(qū)硅反應(yīng)而不會(huì)與介質(zhì)層反應(yīng)的特點(diǎn)，在進(jìn)行Salicide工藝流程前淀積一層介質(zhì)層覆蓋在Non-Salicide區(qū)域，防止這些區(qū)域形成Salicide，這種為了形成Non-Salicide器件的技術(shù)稱為自對(duì)準(zhǔn)硅化物阻擋層技術(shù)（Self-Aligned Block - SAB），也可以稱為電阻保護(hù)氧化層（Resist Protection Oxide - RPO）。SAB薄膜的材料包括富硅氧化物SRO（Silicon Rich Oxide）、SiO2、SiON和Si3N4。其中，SRO薄膜的硅含量比常規(guī)的氧化硅薄膜大，SRO的制備與常規(guī)氧化硅大致相同，都可以通過(guò)PECVD淀積，氣體源是SiH4、O2和Ar。其中SiH4和O2的比率設(shè)置成高于形成常規(guī)氧化硅所用的比率，另外可以用Si2H6和TEOS（四乙基硅烷）取代SiH4，也可以用N2O或者O3取代O2。淀積SiON的氣體源是SiH4、N2O和Ar，淀積Si3N4的氣體源是SiH4、N3H和Ar。
為了得到Non-Salicide器件，需要在傳統(tǒng)的CMOS工藝流程中增加一道SAB工藝步驟。SAB的工藝流程包括利用PECVD淀積硅化物例如SRO或者SiO2，還有SAB光刻處理（保留Non-Salicide區(qū)域光刻膠，去掉Salicide區(qū)域光刻膠），以及SAB刻蝕處理（去掉Salicide區(qū)域的氧化硅，為下一步形成Salicide做準(zhǔn)備）。SAB刻蝕處理包括干法刻蝕和濕法刻蝕。
為什么SAB刻蝕利用干法刻蝕和濕法刻蝕結(jié)合呢？因?yàn)楦煞涛g是利用帶電離子漿轟擊的方式去除氧化硅，它既包括物理的轟擊也包括化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程，如果直接用干法刻蝕完全去除氧化硅會(huì)損傷襯底硅，導(dǎo)致最終形成的Salicide電阻偏高。而濕法刻蝕是利用化學(xué)反應(yīng)去除氧化硅，不存在物理轟擊，所以不會(huì)損傷襯底。但是干法刻蝕是各向異性刻蝕，它的刻蝕方向是垂直向下，它能很好地控制尺寸，而濕法刻蝕是各向同性刻蝕，濕法刻蝕橫向刻蝕比較嚴(yán)重，不能控制刻蝕的方向，最終刻蝕得到的尺寸會(huì)與設(shè)計(jì)的圖形存在偏差，另外橫向刻蝕還會(huì)滲透到柵氧里面導(dǎo)致漏電，器件失效。所以SAB刻蝕步驟需要干法刻蝕和濕法刻蝕結(jié)合。
1.5 SAB和Salicide工藝技術(shù)的工程應(yīng)用
SAB和Salicide工藝技術(shù)一般用在深亞微米及其以下的工藝中，為了更好的理解SAB和Salicide工藝技術(shù)，下面以納米級(jí)工藝形成ESD器件和Non-Salicide器件為例介紹它們的工程應(yīng)用。
a)選取已經(jīng)形成重?fù)诫s源漏有源區(qū)的工藝流程為起點(diǎn)。如圖3-110所示，是形成重?fù)诫s源漏有源區(qū)的剖面圖。
圖3-110 形成重?fù)诫s源漏有源區(qū)的剖面圖
b)淀積SAB。利用PECVD淀積一層SiO2，目的是形成SiO2覆蓋在不需要形成金屬硅化物（Salicide）的有源區(qū)和多晶硅表面，防止它們形成Salicide。如圖3-111所示，是淀積SiO2的剖面圖。
圖3-111淀積SiO2的剖面圖
c)SAB光刻處理。通過(guò)微影技術(shù)將SAB掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到晶圓上，形成SAB的光刻膠圖案，非SAB區(qū)域上保留光刻膠。如圖3-112所示，是涂光刻膠的剖面圖。如圖3-113所示，是SAB光刻的剖面圖。
圖3-112涂光刻膠的剖面圖
圖3-113 SAB光刻的剖面圖
d)SAB刻蝕處理。干法刻蝕和濕法刻蝕結(jié)合，把沒(méi)有被光刻膠覆蓋的SiO2清除，裸露出需要形成Salicide的有源區(qū)和多晶硅，為下一步形成Salicide做準(zhǔn)備。如圖3-114所示，是SAB刻蝕的剖面圖。
圖3-114 SAB刻蝕的剖面圖
e)去除光刻膠。利用干法刻蝕和濕法刻蝕去除光刻膠。如圖3-115所示，是去除光刻膠的剖面圖。
圖3-115去除光刻膠的剖面圖
f)清洗自然氧化層。利用化學(xué)溶液NH4OH和HF清除自然氧化層，因?yàn)楹竺嬉坏拦に囀堑矸eNiPt，把硅表面的氧化物清除的更干凈，使NiPt跟襯底硅和多晶硅的清潔表面接觸，更易的形成金屬硅化物，所以淀積NiPt前再過(guò)一道酸槽清除自然氧化層。
g)淀積NiPt和TiN。利用PVD濺射工藝淀積一層厚度約100?的NiPt和厚度約250?的TiN，TiN的作用是防止NiPt在RTA階段流動(dòng)導(dǎo)致金屬硅化物厚度不一，電阻值局部不均勻。如圖3-116所示，是淀積NiPt和TiN的剖面圖。
圖3-116淀積NiPt和TiN的剖面圖
h)第一步Salicide RTA1。在高溫約200~300℃的環(huán)境下，通入N2使NiPt與有源區(qū)和多晶硅反應(yīng)生成高阻的金屬硅化物Ni2PtSi。
i)NiPt和TiN 選擇性刻蝕。利用濕法刻蝕清除TiN和沒(méi)有與硅反應(yīng)的NiPt，防止它們橋連造成電路短路。如圖3-117所示，是選擇性刻蝕的剖面圖。
圖3-117選擇性刻蝕的剖面圖
j)第二步Salicide RTA2。在高溫約400~450℃的環(huán)境下，通入N2把高阻態(tài)的Ni2PtSi轉(zhuǎn)化為低阻態(tài)的NiPtSi2。